长春微电子全自动配气设备
长春微电子全自动配气设备
长春微电子全自动氢氮配气设备:
设备工作原理;
 

        1.采用进口质量流量控制器控制器气体的体积流量进行二元的混合配比,同时配备氢气分析仪在线监测混合气体的单调或多元气体浓度,保证配比比例,混合气体的比例在氢气分析仪分析的最大范围内可以随意设定,调节简单、方便、直观。

 

      2、控制方式

         采用知名品牌编程器与触摸屏控制,实时显示配比流程、配比比例、工作压力、报警参数等信息,使操作变的简易明了。控制采用程序控制器与质量流量控制器做通讯控制,保证了配比的精度,同时设备设手动操作显示仪,可手动调节配比的比例。

 

二 、 主要技术指标;

 
1、  原料气

     氮气压力                0.8Mpa

     氢气压力                0.8Mpa

2、  工作压力                0.6MPa

3、  混合气流量              15NM3/h

     混合气含氢量            0-20%可调

           混合气压力              0.4MPa

           混合气精度              ±1.%

         4、  装机功率                200W                         

         5、  电源                    220V50HZ

         6、  设备重量                约150Kg

         7,  外型尺寸                700×600×1400mm

         8、  设备颜色                米白色

 

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