宁夏单晶硅氩气净化装置
宁夏单晶硅氩气净化装置
宁夏单晶硅氩气净化设备:

技术参数 

                      YA-200        

  1、解决气量         200m3/h        

  2、原料氩气         液氩汽化气   

  3、工作压力         <0.8Mpa     

  4、纯化后氩气纯度   

             O2        ≤0.1ppm      

             H20        -70℃         

  5、除氧器工作温度    常温          

  6、除氧器再生温度    300℃         

  7、干燥器工作温度    常温          

  8、干燥器再生温度    300℃         

  9、配备   英国的微量氧分析仪

  10、管道、阀门采用不锈钢卫生级

  11、除氧器、干燥器内壁经过抛光解决

  12、带有精度为0.01um的精密过滤器

  13、电气元器件采用欧姆龙、施耐德、富士等名牌产品

  14、用氢气再生脱氧剂后采用先进的吹氢工艺,使氩气中的氢气含量小于0.1ppm

  15、冷却水 ≤1m3/h   水温<35℃

  16、设备外形尺寸:1800×2000×2100mm

  17、采用除氧器、干燥器采用复式组合,即一组工作,另一组再生待用,每组工作时间不小于7天,即168h

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