江苏微电子配气设备现场
江苏微电子配气设备现场
江苏某大型微电子企业ASM氢氮混合配气装置联机安装调试现场:

主要技术指标;

1、  原料气

     氮气压力                0.8Mpa

     氢气压力                0.8Mpa

2、  工作压力                0.6MPa

3、  混合气流量              15NM3/h

     混合气含氢量            0-20%可调

           混合气压力              0.4MPa

           混合气精度              ±1.%

        4、  装机功率                200W                         

        5、  电源                    220V50HZ

        6、  设备重量                约150Kg

        7,  外型尺寸                700×600×1400mm

        8、  设备颜色                米白色

 

  三、  设备主要组成及性能;

1,质量流量控制器(美国艾丽凯特;是本系统的控制机构,其举动直接受执行机构控制。是氢气、氮气混合配比的关键部件。

2氢分仪(北京仪表);是本设备的检测机构(小流量计是氢分仪的流量控制器),显示配比气中的氢百分比含量,并把氢百分比含量转换成4-20mA的电流信号。

3智能显示调节仪(爱丽凯特);是设备的控制器,把氢分仪的电流信号与设定值比较计算,计算结果转换成执行器需要的4-20mA的电流信号。智能显示调节仪有混合气浓度报警输出.

4混合罐304;把氢气、氮气混合配比并做小型缓冲用处。

5配比流量计;把混合配比气的采用实时流量显示出来。

6压力控制器对氮气压力有报警输出,并关闭氢气进口,保证工作点氢气浓度不会超标。

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